點(diǎn)擊:445 發(fā)布于:2022-10-20
MOS管是FET的一種(另一種為JFET結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管),主要有兩種結(jié)構(gòu)形式:N溝道型和P溝道型;又根據(jù)場(chǎng)效應(yīng)原理的不同,分為耗盡型(當(dāng)柵壓為零時(shí)有較大漏極電流)和增強(qiáng)型(當(dāng)柵壓為零,漏極電流也為零,必須再加一定的柵壓之后才有漏極電流)兩種。因此,MOS管可以被制構(gòu)成P溝道增強(qiáng)型、P溝道耗盡型、N溝道增強(qiáng)型、N溝道耗盡型4種類型產(chǎn)品。
圖表1 MOS管的4種類型
每一個(gè)MOS管都提供有三個(gè)電極:Gate柵極(表示為“G”)、Source源極(表示為“S”)、Drain漏極(表示為“D”)。接線時(shí),對(duì)于N溝道的電源輸入為D,輸出為S;P溝道的電源輸入為S,輸出為D;且增強(qiáng)型、耗盡型的接法基本一樣。
圖表2 MOS管內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖
從結(jié)構(gòu)圖可發(fā)現(xiàn),N溝道型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極接在N型半導(dǎo)體上,而P溝道型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極則接在P型半導(dǎo)體上。場(chǎng)效應(yīng)管輸出電流由輸入的電壓(或稱場(chǎng)電壓)控制,其輸入的電流極小或沒有電流輸入,使得該器件有很高的輸入阻抗,這也是MOS管被稱為場(chǎng)效應(yīng)管的重要原因。
MOS管工作原理
1、N溝道增強(qiáng)型場(chǎng)效應(yīng)管原理
N溝道增強(qiáng)型MOS管在P型半導(dǎo)體上生成一層SiO2薄膜絕緣層,然后用光刻工藝擴(kuò)散兩個(gè)高摻雜的N型區(qū),從N型區(qū)引出電極(漏極D、源極S);在源極和漏極之間的SiO2絕緣層上鍍一層金屬鋁作為柵極G;P型半導(dǎo)體稱為襯底,用符號(hào)B表示。由于柵極與其它電極之間是相互絕緣的,所以NMOS又被稱為絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管。
當(dāng)柵極G和源極S之間不加任何電壓,即VGS=0時(shí),由于漏極和源極兩個(gè)N+型區(qū)之間隔有P型襯底,相當(dāng)于兩個(gè)背靠背連接的PN結(jié),它們之間的電阻高達(dá)1012Ω,即D、S之間不具備導(dǎo)電的溝道,所以無論在漏、源極之間加何種極性的電壓,都不會(huì)產(chǎn)生漏極電流ID。
圖表3 N溝道增強(qiáng)型MOS管結(jié)構(gòu)示意圖
當(dāng)將襯底B與源極S短接,在柵極G和源極S之間加正電壓,即VGS>0時(shí),如圖表3(a)所示,則在柵極與襯底之間產(chǎn)生一個(gè)由柵極指向襯底的電場(chǎng)。在這個(gè)電場(chǎng)的作用下,P襯底表面附近的空穴受到排斥將向下方運(yùn)動(dòng),電子受電場(chǎng)的吸引向襯底表面運(yùn)動(dòng),與襯底表面的空穴復(fù)合,形成了一層耗盡層。
如果進(jìn)一步提高VGS電壓,使VGS達(dá)到某一電壓VT時(shí),P襯底表面層中空穴全部被排斥和耗盡,而自由電子大量地被吸引到表面層,由量變到質(zhì)變,使表面層變成了自由電子為多子的N型層,稱為“反型層”,如圖表3(b)所示。
反型層將漏極D和源極S兩個(gè)N+型區(qū)相連通,構(gòu)成了漏、源極之間的N型導(dǎo)電溝道。把開始形成導(dǎo)電溝道所需的VGS值稱為閾值電壓或開啟電壓,用VGS(th)表示。顯然,只有VGS>VGS(th)時(shí)才有溝道,而且VGS越大,溝道越厚,溝道的導(dǎo)通電阻越小,導(dǎo)電能力越強(qiáng);“增強(qiáng)型”一詞也由此得來。
圖表4 耗盡層與反型層產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)示意圖
在VGS>VGS(th)的條件下,如果在漏極D和源極S之間加上正電壓VDS,導(dǎo)電溝道就會(huì)有電流流通。漏極電流由漏區(qū)流向源區(qū),因?yàn)闇系烙幸欢ǖ碾娮瑁匝刂鴾系喇a(chǎn)生電壓降,使溝道各點(diǎn)的電位沿溝道由漏區(qū)到源區(qū)逐漸減小,靠近漏區(qū)一端的電壓VGD最小,其值為VGD=VGS-VDS,相應(yīng)的溝道最薄;靠近源區(qū)一端的電壓最大,等于VGS,相應(yīng)的溝道最厚。
這樣就使得溝道厚度不再是均勻的,整個(gè)溝道呈傾斜狀。隨著VDS的增大,靠近漏區(qū)一端的溝道越來越薄。
當(dāng)VDS增大到某一臨界值,使VGD≤VGS(th)時(shí),漏端的溝道消失,只剩下耗盡層,把這種情況稱為溝道“預(yù)夾斷”,如圖表4(a)所示。繼續(xù)增大VDS[即VDS>VGS-VGS(th)],夾斷點(diǎn)向源極方向移動(dòng),如圖表4(b)所示。
盡管夾斷點(diǎn)在移動(dòng),但溝道區(qū)(源極S到夾斷點(diǎn))的電壓降保持不變,仍等于VGS-VGS(th)。因此,VDS多余部分電壓[VDS-(VGS-VGS(th))]全部降到夾斷區(qū)上,在夾斷區(qū)內(nèi)形成較強(qiáng)的電場(chǎng)。這時(shí)電子沿溝道從源極流向夾斷區(qū),當(dāng)電子到達(dá)夾斷區(qū)邊緣時(shí),受夾斷區(qū)強(qiáng)電場(chǎng)的作用,會(huì)很快的漂移到漏極。
圖表5 預(yù)夾斷及夾斷區(qū)形成示意圖
2、P溝道增強(qiáng)型場(chǎng)效應(yīng)管原理
P溝道增強(qiáng)型MOS管因在N型襯底中生成P型反型層而得名,其通過光刻、擴(kuò)散的方法或其他手段,在N型襯底(基片)上制作出兩個(gè)摻雜的P區(qū),分別引出電極(源極S和漏極D),同時(shí)在漏極與源極之間的SiO2絕緣層上制作金屬柵極G。其結(jié)構(gòu)和工作原理與N溝道MOS管類似;只是使用的柵-源和漏-源電壓極性與N溝道MOS管相反。
在正常工作時(shí),P溝道增強(qiáng)型MOS管的襯底必須與源極相連,而漏極對(duì)源極的電壓VDS應(yīng)為負(fù)值,以保證兩個(gè)P區(qū)與襯底之間的PN結(jié)均為反偏,同時(shí)為了在襯底頂表面附近形成導(dǎo)電溝道,柵極對(duì)源極的電壓也應(yīng)為負(fù)。
圖表6 P溝道增強(qiáng)型MOS管的結(jié)構(gòu)示意圖
當(dāng)VDS=0時(shí)。在柵源之間加負(fù)電壓比,由于絕緣層的存在,故沒有電流,但是金屬柵極被補(bǔ)充電而聚集負(fù)電荷,N型半導(dǎo)體中的多子電子被負(fù)電荷排斥向體內(nèi)運(yùn)動(dòng),表面留下帶正電的離子,形成耗盡層。
隨著G、S間負(fù)電壓的增加,耗盡層加寬,當(dāng)VDS增大到一定值時(shí),襯底中的空穴(少子)被柵極中的負(fù)電荷吸引到表面,在耗盡層和絕緣層之間形成一個(gè)P型薄層,稱反型層,如圖表6(2)所示。
這個(gè)反型層就構(gòu)成漏源之間的導(dǎo)電溝道,這時(shí)的VGS稱為開啟電壓VGS(th),達(dá)到VGS(th)后再增加,襯底表面感應(yīng)的空穴越多,反型層加寬,而耗盡層的寬度卻不再變化,這樣我們可以用VGS的大小控制導(dǎo)電溝道的寬度。
圖表7 P溝道增強(qiáng)型MOS管耗盡層及反型層形成示意圖
當(dāng)VDS≠0時(shí)。導(dǎo)電溝道形成以后,D、S間加負(fù)向電壓時(shí),那么在源極與漏極之間將有漏極電流ID流通,而且ID隨VDS而增,ID沿溝道產(chǎn)生的壓降使溝道上各點(diǎn)與柵極間的電壓不再相等,該電壓削弱了柵極中負(fù)電荷電場(chǎng)的作用,使溝道從漏極到源極逐漸變窄,如圖表7(1)所示。
當(dāng)VDS增大到使VGD=VGS(即VDS=VGS-VGS(TH)),溝道在漏極附近出現(xiàn)預(yù)夾斷,如圖表7(2)所示。再繼續(xù)增大VDS,夾斷區(qū)只是稍有加長(zhǎng),而溝道電流基本上保持預(yù)夾斷時(shí)的數(shù)值,其原因是當(dāng)出現(xiàn)預(yù)夾斷時(shí)再繼續(xù)增大VDS,VDS的多余部分就全部加在漏極附近的夾斷區(qū)上,故形成的漏極電流ID近似與VDS無關(guān)。
圖表8 P溝道增強(qiáng)型MOS管預(yù)夾斷及夾斷區(qū)形成示意圖
3、N溝道耗盡型場(chǎng)效應(yīng)管原理
N溝道耗盡型MOS管的結(jié)構(gòu)與增強(qiáng)型MOS管結(jié)構(gòu)類似,只有一點(diǎn)不同,就是N溝道耗盡型MOS管在柵極電壓VGS=0時(shí),溝道已經(jīng)存在。這是因?yàn)镹溝道是在制造過程中采用離子注入法預(yù)先在D、S之間襯底的表面、柵極下方的SiO2絕緣層中摻入了大量的金屬正離子,該溝道亦稱為初始溝道。
當(dāng)VGS=0時(shí),這些正離子已經(jīng)感應(yīng)出反型層,形成了溝道,所以只要有漏源電壓,就有漏極電流存在;當(dāng)VGS>0時(shí),將使ID進(jìn)一步增加;VGS<0時(shí),隨著VGS的減小,漏極電流逐漸減小,直至ID=0。對(duì)應(yīng)ID=0的VGS稱為夾斷電壓或閾值電壓,用符號(hào)VGS(off)或Up表示。
由于耗盡型MOSFET在VGS=0時(shí),漏源之間的溝道已經(jīng)存在,所以只要加上VDS,就有ID流通。如果增加正向柵壓VGS,柵極與襯底之間的電場(chǎng)將使溝道中感應(yīng)更多的電子,溝道變厚,溝道的電導(dǎo)增大。
如果在柵極加負(fù)電壓(即VGS<0),就會(huì)在相對(duì)應(yīng)的襯底表面感應(yīng)出正電荷,這些正電荷抵消N溝道中的電子,從而在襯底表面產(chǎn)生一個(gè)耗盡層,使溝道變窄,溝道電導(dǎo)減小。當(dāng)負(fù)柵壓增大到某一電壓VGS(off)時(shí),耗盡區(qū)擴(kuò)展到整個(gè)溝道,溝道完全被夾斷(耗盡),這時(shí)即使VDS仍存在,也不會(huì)產(chǎn)生漏極電流,即ID=0。
圖表9 N溝道耗盡型MOS管結(jié)構(gòu)(左)及轉(zhuǎn)移特性(右)示意圖
4、P溝道耗盡型場(chǎng)效應(yīng)管原理
P溝道耗盡型MOS管的工作原理與N溝道耗盡型MOS管完全相同,只不過導(dǎo)電的載流子不同,供電電壓極性也不同。
5、耗盡型與增強(qiáng)型MOS管的區(qū)別
耗盡型與增強(qiáng)型的主要區(qū)別在于耗盡型MOS管在G端(Gate)不加電壓時(shí)有導(dǎo)電溝道存在,而增強(qiáng)型MOS管只有在開啟后,才會(huì)出現(xiàn)導(dǎo)電溝道;兩者的控制方式也不一樣,耗盡型MOS管的VGS(柵極電壓)可以用正、零、負(fù)電壓控制導(dǎo)通,而增強(qiáng)型MOS管必須使得VGS>VGS(th)(柵極閾值電壓)才行。
由于耗盡型N溝道MOS管在SiO2絕緣層中摻有大量的Na+或K+正離子(制造P溝道耗盡型MOS管時(shí)摻入負(fù)離子),當(dāng)VGS=0時(shí),這些正離子產(chǎn)生的電場(chǎng)能在P型襯底中感應(yīng)出足夠的電子,形成N型導(dǎo)電溝道;當(dāng)VGS>0時(shí),將產(chǎn)生較大的ID(漏極電流);如果使VGS<0,則它將削弱正離子所形成的電場(chǎng),使N溝道變窄,從而使ID減小。
這些特性使得耗盡型MOS管在實(shí)際應(yīng)用中,當(dāng)設(shè)備開機(jī)時(shí)可能會(huì)誤觸發(fā)MOS管,導(dǎo)致整機(jī)失效;不易被控制,使得其應(yīng)用極少。
因此,日常我們看到的NMOS、PMOS多為增強(qiáng)型MOS管;其中,PMOS可以很方便地用作高端驅(qū)動(dòng)。不過PMOS由于存在導(dǎo)通電阻大、價(jià)格貴、替換種類少等問題,在高端驅(qū)動(dòng)中,通常還是使用NMOS替代,這也是市面上無論是應(yīng)用還是產(chǎn)品種類,增強(qiáng)型NMOS管最為常見的重要原因,尤其在開關(guān)電源和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的應(yīng)用中,一般都用NMOS管。
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